微納尺度制造工程（第三版）(英文版)
- 所屬分類：
英文版
- 作者：
（美）坎貝爾 著
- 出版社：
電子工業(yè)出版社
- ISBN：9787121118043
- 出版日期：2010-9-1
-
原價：
￥69.00元
現(xiàn)價：￥55.20元
圖書簡介
本書是The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication 的第三版。本書系統(tǒng)地介紹了微電子制造科學原理與工程技術，覆蓋了集成電路制造所涉及的所有基本單項工藝，包括光刻、等離子體和反應離子刻蝕、離子注入、擴散、氧化、蒸發(fā)、氣相外延生長、濺射和化學氣相淀積等。本書新增加的內(nèi)容包括原子層淀積、電鍍銅、浸潤式光刻、納米壓印與軟光刻、薄膜器件、有機發(fā)光二極管以及應變技術在CMOS 工藝中的應用等，對于其他已經(jīng)過時的或不再具有先進性的題材則做了適當?shù)暮喕騽h除處理。
本書可作為高等學校微電子專業(yè)本科生和研究生相應課程的教科書或參考書，也可供與集成電路制造工藝技術有關的專業(yè)技術人員學習參考。
目錄
斯蒂芬A·坎貝爾：明尼蘇達大學電子與計算機工程系的教授，該校技術研究院的杰出教授，同時兼任該校納米制造中心和納米結(jié)構(gòu)應用中心的主任。無論是在學術界還是在工業(yè)界，他在微電子工藝制造領域都有著廣泛的經(jīng)驗。他目前的研究領域包括半導體納米顆粒在高性能電子器件與
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